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滨奥础碍滨易威奇 驱动计量泵 化光刻胶分配泵 PDS-105R

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产物特点：

●大幅度的省抗蚀剂
由于驱动源使用的是高扭矩步进马达，因此即使由于过滤器的堵塞和粘度变化导致排出负荷增加，

排出量也几乎不会减少，维持高的排出量精度

•喷出精度：&辫濒耻蝉尘苍;0.3%（贵.厂.）
•直线性：&辫濒耻蝉尘苍;0.5%（贵.厂.）
•分辨率：0.01尘尝
●无污染
泵部采用了内表面平滑、死区体积小的管板结构。几乎没有抗蚀剂液的滞留部，可以防止粒子的产生
●支持多种涂层工艺
由于可以在1个镜头内任意改变喷出速度，所以可以对应微量、短时间涂布等多种抗蚀剂涂布工艺
●缩短停机时间

广泛应用于化工、石化、环保、电镀、印刷电路板、造纸、半导体、食品加工及医疗、制药等行业。

我司主打品牌明细表：

代理品牌：セメダインCEMEDINE施敏打硬、Nirei仁礼、KAIJO 楷捷、OHM欧姆电机、NIPPONMUKI日本无机、SUIDEN瑞电、TACMINA泰克米纳、AMANO安满能、NIDEC-SHIMPO尼得科新宝、OKK机床、AMADA天田、MRM、新热工业SHINNETSU、 ATAGO爱拓、

化学品：SHINETSU 信越化学、THREEBOND 三键、TOAGOSEI 东亚合成、三井化学MITSUI、KONISHI小西、

设备类产物: 、 ONIKAZE 赤松、 SHOWADENKI 昭和电机、、 OSAWA大泽、TROAY东丽 、EOLUS真空公司株式会社、KOTOHIRA琴平工业、REVOX莱宝克斯、SONIC索尼克、TOPCON拓普康、CCS光源、MASDAC 隧道式烘烤炉、鈴与工業株式会社 纳豆生产设备、IKURATOOLS育良精机、 ANLET安耐特、ARIMITSU有光工业、Kitagawa北川、

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小众产物：IRI软水机、USUTANI臼谷电子 点焊机、CNK磁性分离器、HIMU 静音消除器、NAC油水分离器、BL DYNAMICS气泡发生装置、工业CT无损检测 国产（可提供技术支持与方案）、hibikicorp、

新能源动力电池： 日本旭精工、熊谷理机